Tantal karbid örtük nədir?

Tantal karbid (TaC) keramika materialı 3880 ℃-ə qədər ərimə nöqtəsinə malikdir və yüksək ərimə nöqtəsi və yaxşı kimyəvi sabitliyə malik birləşmədir. Yüksək temperaturlu mühitlərdə sabit performansı saxlaya bilir. Bundan əlavə, yüksək temperatur müqavimətinə, kimyəvi korroziyaya davamlılığa və karbon materialları ilə yaxşı kimyəvi və mexaniki uyğunluğa malikdir, bu da onu ideal qrafit substrat qoruyucu örtük materialına çevirir. 

Tantal karbid örtüyü qrafit komponentlərini sərt istifadə mühitlərində isti ammonyak, hidrogen, silikon buxar və ərimiş metalın təsirindən effektiv şəkildə qoruya bilər, qrafit komponentlərinin xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır və qrafitdəki çirklərin miqrasiyasını boğur, keyfiyyətini təmin edir.epitaksialvəkristal böyüməsi.

Şəkil 1. Ümumi Tantal Karbid örtüklü komponentlər

Kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) qrafit səthlərdə TaC örtüklərinin istehsalı üçün ən yetkin və optimal üsuldur.

Karbon və tantal mənbələri kimi TaCl5 və Propilendən, daşıyıcı qaz kimi isə arqondan istifadə edərək, yüksək temperaturda buxarlanmış TaCl5 buxarı reaksiya kamerasına daxil edilir. Hədəf temperaturda və təzyiqdə prekursor material buxarı qrafitin səthində adsorbsiya edilir, karbon və tantal mənbələrinin parçalanması və birləşməsi kimi bir sıra mürəkkəb kimyəvi reaksiyalara, həmçinin diffuziya və desorbsiya kimi bir sıra səth reaksiyalarına məruz qalır. prekursorun əlavə məhsulları. Nəhayət, qrafitin səthində sıx bir qoruyucu təbəqə əmələ gəlir ki, bu da qrafiti ekstremal ekoloji şəraitdə sabit mövcudluqdan qoruyur və qrafit materiallarının tətbiqi ssenarilərini əhəmiyyətli dərəcədə genişləndirir.

Şəkil 2.Kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesinin prinsipi

VeTek yarımkeçiriciƏsasən tantal karbid məhsulları təmin edir: TaC bələdçi üzük, TaC örtülmüş üç ləçəkli halqa, TaC örtüklü pota, TaC örtüklü məsaməli qrafit SiC kristal böyümə prosesidir; TaC örtüklü reseptorlar, planetar reseptorlar, TaC örtüklü peyk reseptorları və bu tantal karbid örtük məhsulları geniş şəkildə istifadə olunur.SiC epitaksi prosesivəSiC Tək Kristal Artım Prosesi.

Şəkil 3.VeTek Yarımkeçiricilərin Ən Populyar Tantal Karbid Kaplama Məhsulları