Horizontal SiC Gofret Daşıyıcısı

VeTek YarımkeçiricilərHorizontal SiC Gofret Daşıyıcısı/Qayıq son dərəcə yüksək ərimə nöqtəsinə (təxminən 2700°C) malikdir və bu, imkan verirHorizontal SiC Gofret Daşıyıcısı/Deformasiya və ya deqradasiya olmadan yüksək temperaturlu mühitlərdə sabit işləmək üçün qayıq. Bu xüsusiyyət yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində, xüsusilə yüksək temperaturda yumşalma və ya kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) kimi proseslərdə xüsusilə vacibdir.

TheHorizontal SiC Gofret Daşıyıcısı/Qayıq vafli daşıyıcıların daşınması prosesində xüsusi olaraq aşağıdakı rolları oynayır:

Silikon vafli daşıma və dəstək: Horizontal SiC Wafer Boat əsasən yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı silikon vafliləri daşımaq və dəstəkləmək üçün istifadə olunur. Bütün emal prosesi boyunca yaxşı vəziyyətdə və sabitlikdə qalmasını təmin etmək üçün bir neçə silikon vafli möhkəm şəkildə birləşdirə bilər.

Vahid istilik və soyutma: SiC-nin yüksək istilik keçiriciliyinə görə, Wafer Boat bütün silikon vaflilərə istiliyi effektiv şəkildə bərabər paylaya bilir. Bu, yüksək temperaturda emal zamanı silikon vaflilərin vahid qızdırılmasına və ya soyumasına nail olmağa kömək edir, emal prosesinin ardıcıllığını və etibarlılığını təmin edir.

Çirklənmənin qarşısını alın: SiC-nin kimyəvi sabitliyi ona yüksək temperaturda və aşındırıcı qaz mühitlərində yaxşı işləməyə imkan verir, beləliklə, silikon vaflilərin mümkün çirkləndiricilərə və ya reaktivlərə məruz qalmasını azaldır, silikon vaflilərin saflığını və keyfiyyətini təmin edir.

Əslində, Horizontal SiC Wafer Boat unikal məhsul xüsusiyyətlərinə görə yuxarıda göstərilən rolu oynaya bilər:

Əla kimyəvi sabitlik: SiC materialı müxtəlif kimyəvi mühitlərə əla korroziyaya davamlıdır. Aşındırıcı qazların və ya mayelərin emalı prosesində SiC Wafer Boat kimyəvi korroziyaya effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər və silikon vafliləri çirklənmədən və ya zədələnmədən qoruya bilər.

High thermal conductivity: SiC-nin yüksək istilik keçiriciliyi daşıyıcı prosesdə istiliyi bərabər paylamağa və istilik yığılmasını azaltmağa kömək edir. Bu, dəqiq emal zamanı temperatur nəzarətinin düzgünlüyünü yaxşılaşdıra və silikon vaflilərin vahid qızdırılmasını və ya soyumasını təmin edə bilər.

Aşağı istilik genişlənmə əmsalı: SiC materialının aşağı istilik genişlənmə əmsalı o deməkdir ki, temperatur dəyişiklikləri zamanı SiC Wafer Boat-ın ölçü dəyişikliyi çox kiçikdir. Bu, yüksək temperaturda emal zamanı ölçü sabitliyini qorumağa kömək edir və istilik genişlənməsi nəticəsində silikon vaflilərin deformasiyasının və ya mövqe yerdəyişməsinin qarşısını alır.

Horizontal SiC Gofret Daşıyıcısının əsas fiziki xassələri:

VeTek yarımkeçirici istehsalı sexi:

Yarımkeçirici çip epitaksi sənayesi zəncirinin icmalı: